與氣相中的其他化學物質如 CO，SOx 等相比，NOx 可以很快地被臭氧氧化，這就使得 NOx 的臭氧氧化具有很高的選擇性。因為氣相中的 NOx 被轉化成溶於水溶液的離子化合物，這就使得氧化反應更加完全，從而不可逆地脫除了 NOx，而不產生二次汙染。經過氧化反應，加入的臭氧被反應所消耗，過量的臭氧可以在噴淋塔中分解。除了 NOx之外，壹些重金屬，如汞及其他重金屬汙染物也同時被臭氧所氧化。煙氣中高濃度的粉塵或固體顆粒物不會影響到 NOx 的脫除效率