選擇性氧化脫硝技術的基本原理為臭氧氧化法脫硝主要是利用臭氧的強氧化性，將不可溶的低價態氮氧化物氧化為可溶的高價態氮氧化物，然後在洗滌塔內將氮氧化物吸收，達到脫除的目的。

我公司在臭氧同時脫硫脫硝過程中NO 的氧化機理進行了研究，對臭氧在煙道的投放、布氣方式、氣相混合方式，溫度控制影響、粉塵影響等做了全面的模擬實驗，總結了煙構建出O3與NOX 之間詳細的化學反應機理，該機理比較復雜。在實際試驗中，可根據低溫條件下臭氧與NO 的關鍵反應進行研究。

低溫條件下，O3與NO 之間的關鍵反應如下：

NO+O3→NO2+O2   

NO2+O3→NO3+O2  

NO3+NO2→N2O5   

2NO+O₂=2NO₂

4NO₂+O₂+2H₂O=4HNO₃

2NO+O₂=2NO₂

4NO₂+O₂+2H₂O=4HNO₃

MgO+2HNO3=Mg(NO3)2+H2O

與氣相中的其他化學物質如 CO，SOx 等相比，NOx 可以很快地被臭氧氧化，這就使得 NOx 的臭氧氧化具有很高的選擇性。因為氣相中的 NOx 被轉化成溶於水溶液的離子化合物，這就使得氧化反應更加完全，從而不可逆地脫除了 NOx，而不產生二次汙染。經過氧化反應，加入的臭氧被反應所消耗，過量的臭氧可以在噴淋塔中分解。除了 NOx之外，壹些重金屬，如汞及其他重金屬汙染物也同時被臭氧所氧化。煙氣中高濃度的粉塵或固體顆粒物不會影響到 NOx 的脫除效率。

臭氧氧化脫硝可應用於：以煤、焦炭、褐煤為燃料的公用工程鍋爐；以燃氣、煤、重油為燃料的工業鍋爐；鉛、鐵礦、鋅/銅，玻璃、水泥加工、生產的各種爐窯；用於處理生物廢料，輪胎及其他工業廢料的燃燒爐；來自於酸洗和化工過程的酸性氣流；催化裂化尾氣；各種市政及工業垃圾焚化爐等。