1、印染廢水和造紙廢水處理

具氧較弱的氧化性使其能與發色基團發生反應，將有機物的化學鍵斷開，由大分子轉化為無色的小分子，因此臭氧在脫除染料廢水，印染廢水、造紙廢水的色度方面具有很好的處理效果

采用臭氧處理印染廢水，結果發現臭氧對含有GBC棗紅基染料的印染廢水的色度和CODcr去除率分別達94%和72%，出水pH值超於中性。

2、煉油廢水處理

煉油廠廢水中的汙物多為石油裂解產物和燒經類的衍生產物。此類物質可生化能力極弱，針對此特點，這類廢水的常規處理法多為“隔油+氣浮”。目前國內已有學者采用臭氧深度處理該廢水，以實現廢水的循環使用。

3、焦化廢水處理

焦化廢水是在煤的焦化、石油及天然氣的裂解過程中產生的，隨著工業的發展，此類廢水的排放量日漸增加。焦化廢水中多樂芳烴類物質，氨氮、吡啶、氯化物、煤焦油等，汙染物多為矽生物降解有機物和毒性物質。有實驗研究表明，臭氧技術處理焦化廢水能明顯提高出水水質。

通過實驗發現，對於COD值小於1000mg/L、酚含量小於500mg/L的焦化廢水，經臭氧技術處理後水質明顯得到改善，COD去除率高達80%，酚的去除率在30%以上，硫氰氯化物的方除基接近100%，氨氮的去除率在35%左右。